第1磁传感器110、第2磁传感器120以及第3磁传感器130可以分别配置于从第1线圈210、第2线圈220以及第3线圈230产生的磁场较大的位置。例如，第1磁传感器110和第2磁传感器120可以配置为，至少局部重叠于由第1线圈210和第2线圈220产生的磁场Zui大的垂直方向(例如z方向)上的位置。

例如，第1磁传感器110和第2磁传感器120可以配置为，包括连结第1线圈210和第2线圈220的重心的直线的距离(一个例子为360μm)的1/3左右(例如110～120μm)的高度的位置。另外，第3磁传感器130可以配置为，至少局部重叠于由第3线圈230产生的磁场Zui大的垂直方向(例如z方向)上的位置。

图9表示本实施方式的磁传感器模块10的处理流程的一个例子。磁传感器模块10通过进行图9的s10～s70的处理，能够在动作过程中进行准确的灵敏度校正。

在此，s10和s20可以在出厂前的检查工序中进行。s30以后的处理可以在磁传感器模块10的使用开始后的任意的时机进行。例如可以是，s30以后的处理在磁传感器模块10的使用开始之后，在定期的时机或者按照来自使用者的要求进行。

首先，在s10中，磁传感器模块10测量ac磁场。例如，ac磁场发生电路206相对于第1线圈210和第2线圈220，从恒流源施加ac校准电流。由此，第1线圈210和第2线圈220在x-y平面内产生ac校准磁场。将x轴作为感磁轴的第1磁传感器110和将y轴作为感磁轴的第2磁传感器120将检测到的与x方向磁场相应的x输出电压和与y方向磁场相应的y输出电压向电压放大器320输出。

这时，在第1线圈210和第2线圈220产生的热经由包括焊盘270、导线290以及焊盘302的导电路，向从搭载基板300的背面的引线框306暴露的外部输出端子304传递，从该外部输出端子304释放。因而能够减少第1线圈210和第2线圈220的发热对磁传感器芯片100的影响。

电压放大器320将x输出电压和y输出电压放大，将放大后的x输出电压和y输出电压向ad转换器330输出。ad转换器330将来自电压放大器320的模拟信号即x输出电压和y输出电压转换为数字值，向解调电路340供给。解调电路340将数字ac信号即x输出电压和y输出电压转换为dc信号，将该dc信号设为x方向的初始灵敏度和y方向的初始灵敏度。

SBG-03-1-L-30    SBG-06-1-L-30    SBG-10-1-L-30

SBG-03-2-L-30    SBG-06-2-L-30    SBG-10-2-L-30

SBG-03-3-L-30    SBG-06-3-L-30    SBG-10-3-L-30

SBG-03-1-R-31    SBG-06-1-R-31    SBG-10-1-R-31

SBG-03-2-R-31    SBG-06-2-R-31    SBG-10-2-R-31

SBG-03-3-R-31    SBG-06-3-R-31    SBG-10-3-R-31

SBG-03-1-L-31    SBG-06-1-L-31    SBG-10-1-L-31

另外，ac磁场发生电路206相对于第3线圈230从恒流源施加ac校准电流。由此，第3线圈230在包括z轴的平面内产生ac校准磁场。将z轴作为感磁轴的第3磁传感器130将检测到的与z方向磁场相应的z输出电压向电压放大器320输出。

这时，在第3线圈230产生的热经由包括焊盘270、导线290以及焊盘302的导电路，向从搭载基板300的背面的引线框306暴露的外部输出端子304传递，从该外部输出端子304释放。因而，也能够减少第3线圈230的发热对磁传感器芯片100的影响。

电压放大器320将z输出电压放大，将放大后的z输出电压向ad转换器330输出。ad转换器330将来自电压放大器320的模拟信号即z输出电压转换为数字值，向解调电路340供给。解调电路340将数字ac信号即z输出电压转换为dc信号，将该dc信号设为z方向的初始灵敏度。

接着，在s20中，解调电路340将在s10中获取的初始灵敏度存储于存储器350。此外，也可以是，磁传感器模块10在关于x方向和y方向进行s10和s20的处理之后，关于z方向进行s10和s20的处理。

在s30中，校正运算电路360从存储器350读出初始灵敏度。校正运算电路360也可以从存储器350读出x方向、y方向以及z方向的初始灵敏度。

接着，在s40中，磁传感器模块10测量ac磁场。磁传感器模块10可以利用与s10相同的方法进行ac磁场的测量，将得到的dc信号作为当前灵敏度而获取。例如，磁传感器模块10可以获取x方向、y方向以及z方向的当前灵敏度。

接着，在s50中，校正运算电路360进行灵敏度校正。例如，校正运算电路360将在s30中读出的初始灵敏度和在s40中得到的当前灵敏度进行比较，决定灵敏度校正量。例如，校正运算电路360可以获取(初始灵敏度)/(当前灵敏度)或(初始灵敏度)-(当前灵敏度)作为灵敏度校正量。校正运算电路360可以获取x方向、y方向以及z方向各自的灵敏度校正量。

接着，在s60中，磁传感器模块10测量外部磁场。例如，磁传感器模块10使ac磁场发生电路206的动作停止，使磁传感器芯片100测量外部磁场。例如，第1磁传感器110、第2磁传感器120以及第3磁传感器130将x输出电压、y输出电压以及z输出电压分别向电压放大器320输出。