阿斯卡ASCO电磁阀工作原理

发射组件110用于发射电子束；

偏转组件120用于偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑；

采集组件140用于检测束斑穿过接收孔132后的电流，以获得光斑的束流值。

在本实施例中，发射组件110发送电子束后，偏转组件120偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑，采集组件140检测每个束斑穿过接收孔132后的电流，从而获取束斑的束流值。在本实施例中，电子束在偏转组件120的偏转下依次在接收组件130上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

请参阅图3，在本实施例中，电子束采集装置100还包括固定架150，固定架150上设置有固定槽152，接收组件130设置在固定槽152内，固定槽152上设置有连接孔154，接收孔132与连接孔154连通，采集组件140设置在连接孔154远离接收孔132的一侧。

在本实施例中，接收组件130设置在固定槽152内，连接孔154与接收孔132连通，电子束在接收组件130形成束斑后，束斑的电荷通过相互连通的连接孔154及接收孔132流至检测组件上，使检测组件检测该电流。

在本实施例中，接收组件130容置在固定槽152内，能够防止接收组件130直接安装在固定架150上，在外部元件的碰撞下出现损坏，从而提高了接收组件130的使用寿命。

在本实施例中，固定架150、接收组件130及检测组件形成检测装置，该检测装置为法拉第筒传感器200。

在本实施例中，固定槽152的底壁上设置有多个散热槽156，散热槽156用于装载散热介质，以给接收组件130散热。

在本实施例中，当电子束在接收组件130上形成束斑后，电荷在接收组件130上移动会产生大量的热量，装载在散热槽156内的散热介质，在工作的过程中，散热介质在散热槽156内流动，带走接收组件130的热量，提高接收组件130的表面的散热效率。

EF8025B224 DC24V

EF8025B224 DC24V

EFG552G401MO DC24V

EFG551H401MO DC24V

EFG551A001MS DC24V

SCG531B018MS 230V

SCG5B1A017MS 230V

SCG551A005MS 230V

SC8210G35 220V

HT8316G66 220V

52100004 220V

52100008 220V

SCE263B200 220V

400425-110 220V

EFG551A017MS 220V

在本实施例中多个散热槽156沿同一个方向延伸，即多个散热槽156平行设置，采用该种方式能够加快散热介质的流动速度，提高对接收组件130的散热效率。

在本实施例中，接收组件130包括固定件134及接收件136，接收件136设置在固定件134与固定槽152之间，固定件134用于将接收件136固定在固定槽152内，接收孔132设置在接收件136上，固定件134上开设有开口138，接收孔132及部分的接收件136与开口138对应设置。

在本实施例中，散热槽156周围环设有导流槽158，导流槽158可使散热介质在多个散热槽156之间流动，提高了散热效率。

在本实施例中，固定件134将接收件136固定在固定槽152内，接收孔132及接收孔132周围的接收件136从开口138中露出，使电子束能够穿过开口138在接收件136上形成多个束斑。

请参阅图4，在本实施例中，在偏转组件120的偏转下，电子束按照顺序在接收件136上形成多个束斑，为了方便描述，在接收件136的表面建立相互垂直的第一方向x及第二方向y，在扫描的过程中，多个束斑的路径如图4所示，先在第一方向x上按照第一预设间隔的束斑间距，第二方向y上按照第二预设间隔的束斑间距进行逐点扫描。也就是说，偏转组件120先控制电子束在第一方向x上向右进行偏转，按照从左到右的顺序在第一行形成多个束斑，每个束斑之间的间距为第一预设间隔。当第一方向x上的束斑数量达到额定数量后，偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第二行形成一个束斑，偏转组件120控制电子束在第一方向x上向右偏转，按照从右到左的顺序在第二行形成多个束斑，当第二行的束斑数量达到额定数量后，偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第三行形成一个束斑，重复上述过程，在接收件136上形成多行束斑。

在本实施例中，多个束斑在接收件136上的轮廓大致呈矩形，尺寸大致为20mm×20mm。

在本实施例中，第一预设间距为50um，第二预设间距为50um。

在本实施例中，当电子束在形成每个束斑的过程中，每个束斑的停留时间为20us，并在第15us的时候采集组件140进行电流的采集，在第15us的时候进行采集电流，能够使束斑在稳定后再进行采集，能够提高采集到的电流的精准性。

在本实施例中，接收件136为钨铜合金板。