阿斯卡ASCO电磁阀工作原理
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发射组件110用于发射电子束;
偏转组件120用于偏转电子束,使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑;
采集组件140用于检测束斑穿过接收孔132后的电流,以获得光斑的束流值。
在本实施例中,发射组件110发送电子束后,偏转组件120偏转电子束,使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑,采集组件140检测每个束斑穿过接收孔132后的电流,从而获取束斑的束流值。在本实施例中,电子束在偏转组件120的偏转下依次在接收组件130上形成多个束斑,采用逐个束斑检测的方式,逐个对束斑进行采样,能够提高束斑的采样精度。
请参阅图3,在本实施例中,电子束采集装置100还包括固定架150,固定架150上设置有固定槽152,接收组件130设置在固定槽152内,固定槽152上设置有连接孔154,接收孔132与连接孔154连通,采集组件140设置在连接孔154远离接收孔132的一侧。
在本实施例中,接收组件130设置在固定槽152内,连接孔154与接收孔132连通,电子束在接收组件130形成束斑后,束斑的电荷通过相互连通的连接孔154及接收孔132流至检测组件上,使检测组件检测该电流。
在本实施例中,接收组件130容置在固定槽152内,能够防止接收组件130直接安装在固定架150上,在外部元件的碰撞下出现损坏,从而提高了接收组件130的使用寿命。
在本实施例中,固定架150、接收组件130及检测组件形成检测装置,该检测装置为法拉第筒传感器200。
在本实施例中,固定槽152的底壁上设置有多个散热槽156,散热槽156用于装载散热介质,以给接收组件130散热。
在本实施例中,当电子束在接收组件130上形成束斑后,电荷在接收组件130上移动会产生大量的热量,装载在散热槽156内的散热介质,在工作的过程中,散热介质在散热槽156内流动,带走接收组件130的热量,提高接收组件130的表面的散热效率。
EF8025B224 DC24V
EF8025B224 DC24V
EFG552G401MO DC24V
EFG551H401MO DC24V
EFG551A001MS DC24V
SCG531B018MS 230V
SCG5B1A017MS 230V
SCG551A005MS 230V
SC8210G35 220V
HT8316G66 220V
52100004 220V
52100008 220V
SCE263B200 220V
400425-110 220V
EFG551A017MS 220V
在本实施例中多个散热槽156沿同一个方向延伸,即多个散热槽156平行设置,采用该种方式能够加快散热介质的流动速度,提高对接收组件130的散热效率。
在本实施例中,接收组件130包括固定件134及接收件136,接收件136设置在固定件134与固定槽152之间,固定件134用于将接收件136固定在固定槽152内,接收孔132设置在接收件136上,固定件134上开设有开口138,接收孔132及部分的接收件136与开口138对应设置。
在本实施例中,散热槽156周围环设有导流槽158,导流槽158可使散热介质在多个散热槽156之间流动,提高了散热效率。
在本实施例中,固定件134将接收件136固定在固定槽152内,接收孔132及接收孔132周围的接收件136从开口138中露出,使电子束能够穿过开口138在接收件136上形成多个束斑。
请参阅图4,在本实施例中,在偏转组件120的偏转下,电子束按照顺序在接收件136上形成多个束斑,为了方便描述,在接收件136的表面建立相互垂直的第一方向x及第二方向y,在扫描的过程中,多个束斑的路径如图4所示,先在第一方向x上按照第一预设间隔的束斑间距,第二方向y上按照第二预设间隔的束斑间距进行逐点扫描。也就是说,偏转组件120先控制电子束在第一方向x上向右进行偏转,按照从左到右的顺序在第一行形成多个束斑,每个束斑之间的间距为第一预设间隔。当第一方向x上的束斑数量达到额定数量后,偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第二行形成一个束斑,偏转组件120控制电子束在第一方向x上向右偏转,按照从右到左的顺序在第二行形成多个束斑,当第二行的束斑数量达到额定数量后,偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第三行形成一个束斑,重复上述过程,在接收件136上形成多行束斑。
在本实施例中,多个束斑在接收件136上的轮廓大致呈矩形,尺寸大致为20mm×20mm。
在本实施例中,第一预设间距为50um,第二预设间距为50um。
在本实施例中,当电子束在形成每个束斑的过程中,每个束斑的停留时间为20us,并在第15us的时候采集组件140进行电流的采集,在第15us的时候进行采集电流,能够使束斑在稳定后再进行采集,能够提高采集到的电流的精准性。
在本实施例中,接收件136为钨铜合金板。
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