美国阿斯卡ASCO电磁阀主要特点

所述采集组件包括绝缘部、收集电极及检测电路，所述绝缘部包覆于所述收集电极的外表面，所述绝缘部上设置有过渡孔，所述过渡孔与所述连接孔连通，所述检测电路与所述收集电极电连接；

所述收集电极用于汇流所述束斑穿过所述接收孔的所述电流；

所述检测电路用于将电流转换为电压后输出，以获得所述束斑的束流值。

本发明的可选的实施例中，所述采集组件还包括检测电路，所述检测电路包括放大器及检测电阻，所述检测电阻分别与所述放大器的正极输入端及所述放大器的负极输入端电连接，所述收集电极与所述正极输入端电连接。

本发明的可选的实施例中，所述检测电路还包括增益电阻，所述增益电阻与所述放大器的第一增益端及所述放大器的第二增益端电连接。

本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括安装架、驱动件及连接架，所述连接架与所述安装架活动连接，所述采集组件及所述接收组件安装在所述连接架上，所述驱动件安装在所述安装架上与所述连接架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接架向靠近或远离所述偏转组件的方向运动。

本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括散热件，所述散热件设置在所述采集组件处，所述偏转组件还用于将所述电子束偏转至所述散热件上，使所述散热件给所述电子束散热。

本发明实施例的有益效果：电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。

在本发明中，发射组件发送电子束后，偏转组件偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑，采集组件检测每个束斑穿过接收孔后的电流，从而获取束斑的束流值。在本发明中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明的实施例提供的电子束采集装置的结构示意图；

图2为本发明的实施例提供的电子束采集装置的法拉第筒传感器的爆炸图；

图3为本发明的实施例提供的电子束采集装置的在图2中iii处的局部放大图；

图4为本发明的实施例提供的电子束采集装置的束斑在接收件上的扫描路径；

图5为本发明的实施例提供的电子束采集装置的采集组件的检测电路的电路图。

图标：100-电子束采集装置；110-发射组件；120-偏转组件；130-接收组件；132-接收孔；134-固定件；136-接收件；138-开口；140-采集组件；142-绝缘部；144-收集电极；146-检测电路；1462-放大器；148-过渡孔；150-固定架；152-固定槽；154-连接孔；156-散热槽；158-导流槽；160-安装架；170-驱动件；180-连接架；190-散热件；192-进水口；194-出水口；200-法拉第筒传感器。

美国ASCO阿斯卡电磁阀型号大全

WT8551AOO1MMS DC24V

HB8316D15VMB

H78344G44

EFL8316G304

8210G56

S100

8320G174

HT8320G186

PA11B

19000006

ASCO燃气电磁阀8316G064MBMO

ASCO气动阀L12BA452BG00061

ASCO气控阀J22BA452CG60S61

阿斯卡防爆电磁阀L01SA4594G00061

ASCO防爆阀EF8551G301MO

阿斯卡气动阀EF8210G004

ASCO脉冲阀WSNF8551A321MO

ASCO气控阀WSNF8327B102

阿斯卡电磁阀J34BB452CG60S40

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

第一实施例

请参阅图1，本实施例提供了一种电子束采集装置100，本实施例提供的电子束采集装置100主要用于采集电子束的电流，以检测电子束的束流值。本实施例提供的电子束采集装置100能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

请参阅图1及图2，在本实施例中，电子束采集装置100包括：发射组件110、偏转组件120、接收组件130及采集组件140，偏转组件120设置在发射组件110与接收组件130之间，采集组件140设置在接收组件130远离偏转组件120的一侧，接收组件130上设置有接收孔132，采集组件140与接收孔132对应设置；