箱体1一侧通过重型铰链8铰接有机械式密封门12，所述机械式密封门12设置有手柄来辅助开闭，且机械式密封门设置有压力感应装置，若门未关紧无法加压，压力非常压时无法开门。

34.所述抽气机构2包括真空泵21和缓冲罐22，所述真空泵21和所述缓冲罐22安装于所述箱体1内部，所述真空泵21依次与所述缓冲罐22和处理室11内部管路连接；当需要对箱体内抽真空时，真空泵工作在缓冲罐的稳流作用下对处理室制造真空环境。

日本NOP液压马达ORB-G-050

日本NOP液压马达ORB-G-070

日本NOP液压马达ORB-G-100

日本NOP液压马达ORB-G-120

日本NOP液压马达ORB-G-130

日本NOP液压马达ORB-G-160

日本NOP液压马达ORB-G-170

日本NOP液压马达ORB-G-190

日本NOP液压马达ORB-G-205

日本NOP液压马达ORB-G-240

日本NOP液压马达ORB-G-280

日本NOP液压马达ORB-G-310

日本NOP液压马达ORB-G-380

日本NOP液压马达ORB-G-410

高粘度NOP油泵TOP-GPL-150VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-200VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-250VB

NOP油泵TOP-N320H中流量泵单体

NOP油泵TOP-N330H中流量泵单体

NOP油泵TOP-N340H中流量泵单体

NOP油泵TOP-N350H中流量泵单体

中流量通用型NOP油泵TOP-N320FAM(无溢流阀)

中流量通用型NOP油泵TOP-N330FAMVB（有溢流阀）

中流量通用型NOP油泵TOP-N340FBM（无溢流阀）

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-100

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-200

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-300

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-4C

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-8C

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-12C

.所述加压充气机构3包括空压机31、氮气机(图中未示出)和压力调节阀(图中未示出)，所述空压机31安装于所述箱体1内部，所述氮气机设置于所述箱体1一侧，所述空压机31的进气口连接有电控三通阀，所述电控三通阀的一个通口与所述氮气机管路连接，另一个通口与所述外接环境相连通，所述压力调节阀一端与所述空压机31的出气口管路连接，另一端与所述处理室11内部相连通；空压机用于对箱体内部加压，当空压机工作时通过电控三通阀将空气或者氮气吸入并吹入箱体内部，通过压力调节阀对压力值进行调整。