为解决上述技术问题，本发明采取了如下技术方案：

6.一种正负压力固晶炉，包括：

7.箱体，所述箱体内部设置有处理室，所述箱体一侧铰接有机械式密封门；

8.抽气机构，所述抽气机构安装于所述箱体内部并与所述处理室内部相连通；

9.加压充气机构，所述加压充气机构设置于所述箱体一侧，所述加压充气机构与所述处理室内部相连通；

10.电气控制柜，所述电气控制柜设置于所述箱体一侧，所述电气控制柜分别与所述抽气机构和所述加压充气机构电连接；

11.温度控制机构，所述温度控制机构设置于所述箱体内部，所述温度控制机构用于控制处理室的温度。

12.进一步地，所述抽气机构包括真空泵和缓冲罐，所述真空泵和所述缓冲罐安装于所述箱体内部，所述真空泵依次与所述缓冲罐和处理室内部管路连接。

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.进一步地，所述加压充气机构包括空压机、氮气机和压力调节阀，所述空压机安装于所述箱体内部，所述氮气机设置于所述箱体一侧，所述空压机的进气口连接有电控三通阀，所述电控三通阀的一个通口与所述氮气机管路连接，另一个通口与所述外接环境相连通，所述压力调节阀一端与所述空压机的出气口管路连接，另一端与所述处理室内部相连通。