下面将结合本发明实施例中的附图1-4，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

30.实施例

31.结合图1-4本实施例提供了一种正负压力固晶炉，包括箱体1、抽气机构2、加压充气机构3、电气控制柜4和温度控制机构5，所述箱体1内部设置有处理室11，所述抽气机构2

中流量通用型NOP油泵TOP-N320FAM(无溢流阀)

中流量通用型NOP油泵TOP-N330FAMVB（有溢流阀）

中流量通用型NOP油泵TOP-N340FBM（无溢流阀）

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-100

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-200

日本NOP小流量双向摆线齿轮泵TOP-1RA-300

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-4C

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-8C

日本NOP齿轮泵TOP-2RA-12C

日本NOP摆线齿轮泵TOP-3RD-15T

日本NOP摆线齿轮泵TOP-3RD-25T

日本NOP摆线齿轮泵TOP-3RD-30T

日本NOP油泵TOP-204HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-206HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-208HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-210HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-212HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-216HWM切削液用马达一体型油泵

日本NOP油泵TOP-220HWM切削液用马达一体型油泵

安装于所述箱体1内部并与所述处理室11内部相连通，所述加压充气机构3设置于所述箱体1一侧，所述加压充气机构3与所述处理室11内部相连通，所述电气控制柜4设置于所述箱体1一侧，所述电气控制柜4分别与所述抽气机构2和所述加压充气机构3电连接，所述温度控制机构5设置于所述箱体1内部，所述温度控制机构5用于控制处理室11的温度。

32.所述箱体1底部设置有搬运轮，方便将装置进行移动。