台湾伟允WYECO开关型气动薄膜阀D08TM薄膜阀D08GS
电压放大器320将各输出电压放大,向ad转换器330输出。ad转换器330将来自电压放大器320的模拟信号即各输出电压转换为数字值,将该数字值作为x方向、y方向以及z方向的外部磁场测量值而向校正运算电路360供给。
接着,在s70中,校正运算电路360利用在s50中得到的灵敏度校正量对在s60中得到的外部磁场的测量结果进行校正。例如,校正运算电路360利用x方向、y方向以及z方向各自的灵敏度校正量分别对x方向、y方向以及z方向的外部磁场测量值进行校正。作为一个例子可以是,校正运算电路360相对于各方向的外部磁场测量值乘以或者加上相对应的方向的灵敏度校正量,从而执行校正。
这样,根据磁传感器模块10,能够在动作过程中准确地校正磁测量的灵敏度。尤其根据本实施方式的磁传感器模块10,由于未在磁传感器芯片100搭载灵敏度调整用线圈,因此,能够使磁传感器芯片100小型化,能够省成本化。
并且,根据本实施方式的磁传感器模块10,磁传感器芯片100未搭载温度传感器,经由外部输出端子将在线圈产生的热释放,因此能够在使磁传感器芯片100的尺寸小型化的状态下,减少线圈发热对磁传感器芯片100的影响。
此外,为了方便说明,图2、图3以及图8等未描画出ic芯片200所包含的信号处理部204的电路和ac磁场发生电路206,但ic芯片200具有这些电路,以及根据需要在任意的位置具有其他任意的电路。
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