日本NOP齿轮泵TOP-12AVB TOP-11A现货
为解决上述技术问题,本发明采取了如下技术方案:
6.一种正负压力固晶炉,包括:
7.箱体,所述箱体内部设置有处理室,所述箱体一侧铰接有机械式密封门;
8.抽气机构,所述抽气机构安装于所述箱体内部并与所述处理室内部相连通;
9.加压充气机构,所述加压充气机构设置于所述箱体一侧,所述加压充气机构与所述处理室内部相连通;
10.电气控制柜,所述电气控制柜设置于所述箱体一侧,所述电气控制柜分别与所述抽气机构和所述加压充气机构电连接;
11.温度控制机构,所述温度控制机构设置于所述箱体内部,所述温度控制机构用于控制处理室的温度。
12.进一步地,所述抽气机构包括真空泵和缓冲罐,所述真空泵和所述缓冲罐安装于所述箱体内部,所述真空泵依次与所述缓冲罐和处理室内部管路连接。
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.进一步地,所述加压充气机构包括空压机、氮气机和压力调节阀,所述空压机安装于所述箱体内部,所述氮气机设置于所述箱体一侧,所述空压机的进气口连接有电控三通阀,所述电控三通阀的一个通口与所述氮气机管路连接,另一个通口与所述外接环境相连通,所述压力调节阀一端与所述空压机的出气口管路连接,另一端与所述处理室内部相连通。
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