特点及功效，兹列举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合说明书附图来说明本发明的具体实施方式。

本发明是一种对集成电路测试系统进行时间参数校准的方法和装置，用于测量集成电路测试系统自身的系统误差，以提高测试系统在进行集成电路时间参数测量时的准确度。

测试系统在进行集成电路70时间参数测量时，需要使用测试通道101，特别是在进行翻转时间测量时，需要用到两个测试通道分别对输入701、输出管脚702进行时间差进行测量，因此两通道之间的时间同步偏差和通道本身和被测集成电路之间的第一传输线路1011、第二传输线路1012的传输延迟时间，是集成电路时间参数测量误差的Zui主要来源，如图1所示。

针对上述问题，本发明设计了一种集成电路测试系统时间参数校准方法，如图2所示。选取通道ch11011作为参考通道，分别测量出其它通道相对于参考通道的同步偏差时间和通道本身的传输延迟时间，形成如图3所示的各测试通道时间参数测量分布图。图3中横坐标为时间量，纵坐标为测试通道号。

举例说明，如图2所示以通道ch1作为参考通道，任一其它通道相对于通道ch11011偏差时间表示为坐标系中以传输延迟为中心的对称分布。如果选取通道chn提供驱动信号，通道chm作为测量信号通道，则依赖chn和chm所测得集成电路的时间参数系统误差tsyserr表示为：

tsyserr＝tdn+trm

tdn＝tpdn-δtn

trm＝tpdm+δtm

其中tsyserr为集成电路时间参数测量所引入的系统误差，为计算值；如图所示tdn为采用n通道驱动信号时n通道的信号驱动偏差601，为计算值；trm为采用m通道测量信号时m通道的信号测量偏差603，为计算值；tpdn为n通道的传输延迟时间602，为测量值；tpdm为m通道的传输延迟时间604，为测量值；δtn为n通道相对于参考通道的同步偏差时间605，为测量值；δtm为m通道相对于参考通道的同步偏差时间606，为测量值。

MOOG D661-4360E/G30KOCA5NSX2HA
SCHUNK 308800
SOMMER LG71-80
EGE 105 GSP P31112
SIRCAL MP2000
SCHUNK 0324450 AGE-XY-050
RELECO C4-A40FX 24VDC
AXELENT L66-20-L
BUHLER BTHDSPL-1-200-K-2-1
KINNEY KVAH250
HYDAC EDS 3446-3-0250-000 Seriennr:618F580238
KEB 07F5-B3A-0A0A
REXNORD ES30-M
HYDAC 1300 R 010 ON
MOOG D061-9311
LUDECKE ESHM14AAB
OPTIBELT SPB2500
LUDECKE ESM6SAB
PREMA PQVF  DN80
AIRCOM R280-12E 0.5-25BAR 90-113.732
HYDAC MS2G2.1/315/45701
MOOG D662-P01HAMF6NSF2-A

通道自身的传输延迟时间tpdn、tpdm可以利用通道本身资源通过时域反射法进行直接测量，不需要依赖外部资源。通道偏差时间测量是本发明重点解决的问题。

本发明所提出的一种对集成电路测试系统进行时间参数校准的装置2结构总体如图所示，主要硬件组成包括：同步偏差时间测量装置201、通道切换装置202、测量适配器等203。同步偏差时间测量装置201通过测量被测通道和参考通道之间的信号时间间隔，来表征被测通道与参考通道之间的同步偏差时间。被测通道数量比较多，而测量装置上201的测量资源有限，因此需要将不同测试通道切换到测量装置201上。本发明采用的通道切换装置202以机械切换的方式实现不同测试通道之间的切换，由切换装置202夹持测试线缆和接口对接被测通道，确保每条通道测量过程中测量线路和测量装置保持唯一，此方法可以有效降低电子切换造成路径不一致所引入的测量误差，提高测量准确度。下面具体说明如何通过机械切换确保测量结果一致：

图4中标准参考通道ch11011通过校准适配板上的微带线转sma接口，由同轴线缆连接至同步偏差时间测量装置。被测通道(包括ch2、ch3...)通过测量适配器203上的过孔2033，由探针和同轴线缆连接至同步偏差时间测量装置203，所有被测通道除了过孔2033以外，探针和同轴线缆均为共用。可以看出，标准参考通道和被测通道各自的信号传输通路完全不同，至少包括以下几个方面会对数字通道同步偏差时间测量结果造成影响：

1、标准参考通道ch11011信号传输通路中微带线和被测通道信号传输通路中过孔2033的区别；

2、标准参考通道ch11011和被测通道信号传输通路中探针和同轴线缆的区别；

3、同步偏差时间测量装置本身两个测量接口之间的时间偏差。

为解决上述问题所造成的测量结果引入固有误差，本项目拟通过数学方法，消除所有影响因素。

按照图4中连接方案，以标准参考通道ch11011和被测通道ch21012作通道同步偏差时间测量，测得ch21012相对ch11011的偏差时间为t2，则：

t2＝x2-y2

式中：x2为真值，y2为信号传输通路不同引入的误差。

以标准参考通道ch11011和被测通道ch3作通道同步偏差时间测量，测得ch3相对ch11011的偏差时间为t3，则：

t3＝x3-y3，

式中：x3为真值，y3为信号传输通路不同引入的误差。

建立以下方程组：

方程组中：由于ch21012和ch3通道信号通路的唯一区别是其校准适配板上的小于3mm的过孔，其引入的误差相对较小(根据过3mm孔长度换算成信号传输时间大概在15ps左右)，因此y2≈y3。通过方程组可以计算出通道ch21012和通道ch3之间的通道同步偏差时间为：

t23＝t2-t3＝x2-x3

计算结果表明，通道ch21012和ch3之间的同步偏差时间测量结果消除了标准参考通道ch11011信号传输通路的影响，结果与标准参考通道ch11011无关。

图4中所描述的测量适配器如图5所示，为一种正反面过孔直通结构的pcb板，接口形式为平面铜质焊盘2031、2032，正面接口为测试系统所要求的标准焊盘pogopad2033，通过过孔直连至背面的测试pad2034，背面pad2034形状分为正方形和圆形，以作信号接口和gnd接口区分，方便机械切换装置对其进行图像识别和探头对准。

通过上述的结构和原理的描述，所属技术领域的技术人员应当理解，本发明不局限于上述的具体实施方式，在本发明基础上采用本领域公知技术的改进和替代均落在本发明的保护范围，本发明的保护范围应由各项权利要求及其等同物限定之。说明书中未阐述的部分均为现有技术或公知常识。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

磁电阻传感器在正常使用时存在着1/f噪声，降低磁电阻传感器的噪声以及发展低噪声磁电阻传感器对于提高磁信号的jingque测量具有重要的意义。

一般情况下，磁电阻传感器在低频时具有高的1/f噪声，而在高频时则以热噪声为主，其噪声能量密度大大低于低频时的噪声能量密度。因此，目前多选择将磁信号预先调制成高频磁场，再被磁电阻传感器测量以输出高频电压信号，而后进行解调，可以实现将磁信号测量从低频区域移动到高频区域的目的，降低1/f噪声能量密度。

然而，现有高频磁信号测量装置使得磁电阻传感器的复杂程度和尺寸大为增加，工艺复杂程度也大为增加。

申请号为us/365,398的美国专利申请公开了一种磁阻传感器方法和装置，用于调制磁传感器感测的磁通，该申请包括至少一个附接至基座结构的磁传感器、旋转构件，以及至少一个安装在旋转构件上的通量集中器，随着旋转构件的旋转，至少一个磁通集中器屏蔽了磁传感器，从而调制了至少一个磁传感器的输出。该申请使用一个tmr传感器芯片实现两轴传感器，其结构尺寸复杂。