一种电流参数的校准系统与方法，特别是一种基于标准电磁阀和示波器的电流参数校准系统及方法。实现了专测设备的准确校准，设备上电后，专测设备、标准电磁阀、采样电阻、程控电源形成闭合回路，采样电阻上的电流即为标准电磁阀电流。通过示波器采集采样电阻两端的电压，得到电压曲线；根据欧姆定律，计算得到电流曲线，通过分析，得到稳态电流值，即为标准电流，和被测电流值进行对比，实现校准。

集成电路元器件的翻转时间、延迟时间、脉冲宽度等参数是与时间相关的参量，统称为集成电路时间参数。集成电路时间参数的测量和定值需要通过集成电路测试系统对其进行测试来实现，因此测试系统在测量集成电路元器件的时间参数之前，需要对测试系统本身的与时间参数有关的部件进行校准，确保测试系统本身准确可靠，达到准确测量集成电路时间参数的目的。数字通道作为集成电路测试系统的主要部件，也是承担集成电路时间参数测量的主要部件，本发明主要是针对数字通道进行时间参数校准。

针对现有技术存在的问题，提供一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

根据本发明的第一方面的一种集成电路测试系统时间参数校准方法，所述校准方法包括以下步骤：

s1、使用集成电路测试系统测量集成电路时间参数，对所述集成电路测试系统的各个测试通道进行分项测量，获取同步偏差时间和传输延迟时间；

s2、通过公式计算出所述集成电路测试系统在进行集成电路时间参数测量的过程中所引入的系统误差。

在上述方面中，所述步骤s1中分项测量包括：

从所述各个测试通道中任选一条通道作为参考通道，从剩余通道中任选两条通道记为m通道和n通道；

选取n通道提供驱动信号，m通道作为测量信号通道；设测得n通道的传输延迟时间为tpdn，测得m通道的传输延迟时间为tpdm；设n通道相对于所述参考通道的同步偏差时间为δtn，m通道相对于所述参考通道的同步偏差时间为δtm。

福斯 定位器  520MD-14-W2DEE-0000-GM2

福斯 阀门定位器 520MD-15-W2DEE-00F0-000

福斯 阀门定位器 520MD-15-W1DEE-0000-000

美国VALTEK 转换器  P/N 181366.999.000，(279798)NT3000 

美国VALTEK  定位器       P/N 130122.999.00，10005334

美国VALTEK空气过滤减压阀过滤器      138114.999.000

美国 VALTEK大容量增强器  vb 3/4〞 076407.999.000  Volume booster

美国VALTEK阀门定位器   3200MD-28-D6-E-03-40-08-0F

美国VALTEK  138114999 00 INLET 250PSIG  17BAR  MAX OUTLET 150psig 10.3bar

美国VALTEK过滤减压阀

VALTEK盘根       024239.516.000

VALTEK 阀   型号：    076407.999.000

VALTEK 阀    028993.999.000

VALTEK 阀    001231.868.000

VALTEK 阀    009480.868.000

VALTEK 阀    001233.868.000

在上述方面中，所述步骤s2中的公式具体为：

tsyserr＝tdn+trm

tdn＝tpdn-δtn

trm＝tpdm+δtm

其中，tsyserr表示集成电路时间参数测量所引入的系统误差，tdn为n通道的信号驱动偏差，trm为m通道的信号测量偏差。

在上述方面中，所述传输延迟时间tpdn、tpdm可以通过时域反射法进行直接测量。

根据本发明的第二方面的一种集成电路测试系统时间参数校准装置，所述装置包括集成电路测试系统时间参数校准装置，具体包括同步偏差时间测量装置、通过线缆与所述同步偏差时间测量装置连接的通道切换装置以及通过线缆与所述通道切换装置连接的测量适配器。

在上述方面中，所述同步偏差时间测量装置具有十皮秒级时间间隔测量功能。

在上述方面中，所述通道切换装置为基于直角坐标系或者极坐标系的三轴运动装置，并具有夹持测试探针和线缆的功能。

在上述方面中，所述测量适配器为具有过孔结构的双面pcb板，所述pcb板的接口为正面焊盘和背面焊盘，所述正面焊盘具有均匀分布的焊盘pogopad，所述背面焊盘具有均匀分布的测试pad；所述焊盘pogopad通过过孔与测试pad连接，所述背面测试pad的形状分为正方形和圆形并在背面焊盘上交替均匀分布。

本发明具有以下有益效果：

1、该方法具有较高的普适性，能针对高速(400mbps以上)大规模(100测试通道以上)测试系统校准需求，实现测试系统各测试通道时间参数的遍历校准；

2、该装置精度较高，能够通过外接测量的方式提高本装置自身的精度；

3、该装置具有较高的自动化程度和一定的便携性，便于用在不同现场环境下测试系统校准。

附图说明

图1为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准方法实施例中集成电路时间参数测量误差示意图；

图2为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准方法实施例中集成电路测试系统时间参数测量误差分项量化示意图；

图3为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准装置的装置示意图；

图4为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准装置实施例中通道切换示意图；

图5为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准装置的测量适配器的双面结构示意图；

图6为本发明一种集成电路测试系统时间参数校准装置的测量适配器侧剖面示意图。