电子束采集装置100还包括散热件190，散热件190设置在采集组件140处，偏转组件120还用于将电子束偏转至散热件190上，使散热件190给电子束散热。

在本实施例中，当在接收件136上扫描完成后，偏转组件120将电子束偏转至散热件190上，散热件190吸收电子束的能量，防止电子束长时间在接收件136表面停留导致过热出现损坏。

在本实施例中，散热件190用于装载散热介质，散热件190上设置有进水口192及出水口194，使散热介质能够循环流动，从而提高散热效率，保证整个装置可以长时间可靠运行。

在本实施例中，电子束采集装置100的扫描区域Zui大可达20mm×20mm，偏转扫描分辨率20μm～50μm，z轴升降分辨率为0.1mm,行程为0～50mm。

本实施例提供的电子束采集装置100的工作原理：发射组件110发送电子束后，偏转组件120偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑，束斑穿过过渡孔148后在收集电极144上形成电流，放大器1462放大检测到的电阻电压后的电压值输出，通过该电压值分析该束斑的束流值。

本实施例提供的电子束采集装置100，在本实施例中，发射组件110发送电子束后，偏转组件120偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑，采集组件140检测每个束斑穿过接收孔132后的电流，从而获取束斑的束流值。在本实施例中，电子束在偏转组件120的偏转下依次在接收组件130上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

WT8511A1MS

EFG551H466

SCG531C001MS 24DC

7ATSC32000H5

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NFB307B05F

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