阿斯卡防爆电磁阀L01SA4594G00061气动阀L12BA452BG00061在本实施例中，收集电极144与正极输入端vin+连接，电流流经至检测电阻r1上，放大器1462用于放大检测电阻r1两端的电阻电压，使从放大器1462的输出端out输出的电压值在合适的范围内，便于其他元件来分析该束斑的束流值。

在本实施例中，检测电路146还包括增益电阻r2，增益电阻r2与放大器1462的第一增益端rg1及放大器1462的第二增益端rg2电连接。

在本实施例中，增益电阻r2用于调节放大器1462的放大倍数。

在本实施例中，检测电阻r1与正极输入端vin+之间串联正极限流电阻r3，正极限流电阻r3能够防止进入至正极输入端vin+的电流过大，损坏放大器1462。

检测电阻r1与负极输入端vin-之间串流负极限流电阻r4，负极限流电阻r4能够防止进入至负极输入端vin-的电流过大，损坏放大器1462。

在本实施例中，正极输入端vin+与负极输入端vin-检测到的电阻电压为检测电阻r1、正极限流电阻r3及负极限流电阻r4的电压之和。

请参阅图1，在本实施例中，电子束采集装置100还包括安装架160、驱动件170及连接架180，连接架180与安装架160活动连接，采集组件140及接收组件130安装在连接架180上，驱动件170安装在安装架160上与连接架180传动连接，驱动件170用于驱动连接架180向靠近或远离偏转组件120的方向运动。

在本实施例中，驱动件170驱动连接架180向靠近或远离偏转组件120的方向运动，可以实现对电子束空间不同位置的束斑进行采集，从而分析电子束空间不同位置的束斑的形貌、焦点位置及束流功率密度分布检测等。

JKP8342G001MS

8344G70

SCG551A001MS 230VAC

EF8210G001

EF8210G095

HB8316D15VMB

SC8551A017MS+88122404

SCXE353.60

WT8511A1MS

EFG551H466

SCG531C001MS 24DC

7ATSC32000H5

8223G027 220/50

NFB307B05F

SCZ353A060

272614-155-D

K303-116EF8320G174

HB8316G16VMB

8262G80M0

7ATSC32000H5

EF8327G42